Казанский

Порядок работы на установке ВУП-5МВ

1. Подготовка установки к осаждению пленок

1.1. Включением рубильника на щите подать напряжение 380 В на ус-

тановку.

1.2. Открыть кран подачи воды для охлаждения диффузионного насоса

и магнетронной системы. Проверить работу охлаждающей систе-

мы.

1.3. Нажать кнопку "Сеть" на блоке управления (должна загореться

лампочка на индикаторе).

1.4. Установить мишень на магнетрон и подложку на подложкодержа-

тель. Закрыть колпак над рабочим объемом.

1.5. Включить форвакуумный насос, нажав кнопку "ФН" на пульте

управления.

1.6. После достижения вакуума 1,5-10^-1 мм.рт.ст. на форвакуумном на-сосе (на индикаторе вакуума нажата кнопка "Д2") нажать кнопку

50

"ВF" для предварительной откачки буферного баллона.

1.7. После достижения вакуума 1,5-10^-1 мм.рт.ст. в буферном баллоне (на индикаторе вакуума нажата кнопка "Д4") включить диффузи-онный насос нажатием кнопки "НД" на пульте управления.
1.8. После разогрева диффузионного насоса (~45 мин) залить азот в азотную ловушку.
1.9. С помощью индикатора вакуума замерить показания ионизацион-ного датчика. Перед напуском рабочей смеси газов давление в РО должно быть ~310^-6 мм.рт.ст.
1.9. Регулятором напряжения установить, по значению ЭДС термопары, необходимую температуру подложек.
1.10. Включить электронную систему напуска газа. Открыть баллон с рабочей смесью и регулятором установить необходимое давление в рабочей камере.
1.11. Включить генератор, поставить тумблер "Накал" в положение "Вкл.". По истечении 15 мин нажать кнопку "Анод пуск". Кнопкой "Поджиг" зажечь плазму. Регулятором "Связь" установить макси-мальное напряжение, регулятором "Подстройка вторичного конту-ра" установить необходимый ток.
1.12. По истечении 5 мин открыть заслонку.

1.13. По завершении процесса осаждения закрыть заслонку.

1.14. На ВЧ- генераторе нажать кнопку "Анод- стоп", тумблер "Накал" поставить в положение "Выкл." (по истечении 25 мин выключить генератор).
1.15. Отключить электронную систему напуска. Закрыть редуктор бал-лона с газовой смесью.
1.16. Выключить нагреватель подложек в обратной включению после-довательности.


51

1.17. После остывания подложек до температуры Т<40°С можно разва-

куумировать камеру.

2. Извлечение образцов из рабочей камеры

2.1. Нажать кнопку «НВ» - напуск воздуха. По завершению напуска

воздуха загорится лампочка «НВ».

2.2. Открыть колпак, снять подложки с подложкодержателя.

3. Отключение установки

3.1. Закрыть колпак над рабочим объемом.

3.2. Откачать рабочую камеру до давления 310^-6 мм.рт.ст. 3.3. Нажать кнопку "Стоп" на пульте управления.
3.4. Дождаться остывания диффузионного насоса - загорится индикатор «Стоп».
3.5. Отключить форвакуумный насос - отжать кнопку "ФН". 3.6. Отжать кнопку "Сеть".
3.7. Отключить с помощью рубильника напряжение 380 В. 3.8. Закрыть воду, охлаждающую диффузионный насос.