Казанский

m₁ - масса иона, определяющая пробег иона в твердом теле;

z₁ - порядковый номер имплантируемого элемента, определяющий потери энергии при торможении;
S - атомы мишени. Мишень - любые тела в конденсированном состоянии, как элементарного состава, так и самого сложного включая полимеры, металлы, керамики, жидкие кристаллы;
m₂ - масса атома(ов) мишени;

z₂ - порядковый номер атома (ов) мишени в таблице Менделеева. От величины m₂ и z₂ также зависит пробег ионов;
Е - энергия ионов в пучке. В радиационной физике для удобства энергия измеряется в кэВ, МэВ, т.к. однозарядный ион, ускорившись в электро-статическом поле между точками с разностью потенциалов U (вольт), приобретает энергию Е = eU (электронвольт). При этом такой энергией будут обладать все однозарядные ионы в пучке, двухзарядные - 2еU и т.д. Обычные энергии в ионной имплантации 100 кэВ (для сравнения: энергия связи атома в кристалле ~ 10 эВ).
Ф - доза облучения, иногда называемая флюенсом. Ф - количество ионов, попадающих на единицу площади мишени. Доза измеряется в количе-стве ионов на 1 см² (т.е. [ион/см²]). Иногда Ф измеряют в [мкКл/см²] –

56

в соответствии с количеством заряда бомбардирующих ионов, прихо-

дящихся на единицу площади облучаемой поверхности. Соотношение

единиц измерения для однозарядных ионов:

1 [мкКл/см²] = 6,2х10¹² [ион/см²].

j - плотность потока ионов (скорость набора дозы) или плотность ионного тока; характеризует число ионов, попадающих на единицу площади по-верхности мишени в единицу времени; измеряется в [ион/см²с]. Плот-ность ионного тока [мкА/см²с] связана с плотностью потока ионов:
1 [мкА/см²] = 6,2х10¹² [ион/см²с].

Плотность потока ионов определяет, в основном, плотность ра-диационных нарушений, их взаимодействие между собой и накопле-ние, а также температуру поверхности мишени.