Oxygen in Silicon Single Crystals

Fuller C. S., Logan R. A. Effect of Heat Treatment upon the Electrical Properties

of Silicon Crystals // J. Appl. Phys.-1957.-V.28, N 12.-P. 1427-1436.

225. 
     Suezawa M., Sumino К. Infrared Spectroscopic Study of Thermal Donors in Czo-
     

chralski-Grown Silicon Developed at 450°C // Materials Lett.-1983.-V.2, N 2. -P. 85-89.

226. 
     Claubourn M., Newman R. C. Activation Energy for Thermal Donors Formation in
     

Silicon // Appl. Phys. Lett.-1987.-V.51, N 26.-P. 2197-2199.

227. 
     Бабицкий Ю. М., Гринштейн П. М., Ильин М. А., Кузнецов В. П. К вопросу о
     

кинетике отжига низкотемпературных кислородных доноров в кремнии // ФТП.-1984.-Т. 18, Вып. 7.-С. 1280-1283.

228. 
     O'Маrа W. C., Parker J. E., Butler P., Gat A. Investigation of Short Time Donor Annihilation in Silicon // Appl. Phys. Lett.-1985.-V.46, N 3.-P. 299-301.
     
229. 
     Атомная диффузия в полупроводниках / Под ред. Шоу Д.-М.: - Мир, 1975.
     

-684 с.

230. 
     Stein H. J., Hahn S. K., Shatas S. C. Thermal Donor Removal by Rapid Thermal Annealing: Infrared Absorption // Mat. Res. Soc. Symp. Pros.-1985.-V.46. -P. 269-274.
     

234

231. 
     Arst M. C, Groot J. G. // Electron. Mater.-1984.-V. 13, N .-P. 763.
     
232. 
     Stein H. J., Peercy P. S. Mat. Res. Soc. Symp. Pros.-1983.-V.13.-P. 229
     
233. 
     Chantre A., Pearton S. J., Kimerling L. C., Cummings K. O., Dautremont-Smith
     

W. C. Interaction of Hydrogen and Thermal Donor Defects in Silicon // Appl. Phys. Lett.-1987.-V.50, N 9.-P. 513-515.

234. 
     Johnson N. M., Hahn S. K. Hydrogen Passivation of Oxygen-Related Thermal-
     

Donor Defect in Silicon // Appl. Phys. Lett.-1986.-V.48, N 11 .-P. 709-711.

235. 
     Ткачев В. Д., Макаренко Л. Ф., Маркевич В. П., Мурин Л. И. Перестраиваю­
     

щиеся термодоноры в кремнии // ФТП.-1984.-Т. 18, Вып. 7. -С. 1280-1283.

236. 
     Baraff G. A., Kane E. O., Schluter М. Silicon Vacancy: A Possible «Anderson Negative-U» System // Phys. Rev. Lett.-1979.-V.43, N 13.-P. 956-959.
     
237. 
     Latushko Ya. l., Makarenko L. F., Markevich V. P., Murin L. I. Electrical and Opti­
     

cal Characterization of Thermal Donors in Silicon // Phys. Stat. Sol. (a).-1986. -V.93, N 2.-P. К181-К184.

238. 
     Wruck D., Spiegelberg F. Metastable Species of Oxygen-Related Donors in Sili­con // Phys. Stat. Sol. (b).-1986.-V. 133, N 1 .-P. K39-K43.
     
239. 
     Chantre A. Metastable Thermal Donor States in Silicon // Appl. Phys. Lett.- 1987.-V.50, N 21.-P. 1500-1502.
     
240.