O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

1. To‘xtatuvchi (tormozlovchi) maydonli analizatorga ega bo‘lgan 
spektrometrlar. Eng oddiy ko‘rinishdagi OES qurilmasi qo‘yidagilardan iborat 
bo‘ladi: yuqori vakuumli (R ( 10
-6
Pa) kamera, elektron energiyali oqimi, nishon 
(tekshirilayotgan jism) va elektron analizator (spektrometr). OES qattiq jism 
mishen yuzaning holatiga uzviy bog‘liq bo‘lganligi uchun tekshirishlar o‘ta yuqori 
vakuum sharoitida olib borilishi kerak. Elektron energiyali oqimi yuqori darajada 

---

66 
fokuslangan (mishendagi o‘lchami 100-150 mkm), intensivligi kerakli darajada 
(J
1
=103(105 mkA/sm2) katta bo‘lgan birlamchi elektronlar dastasini hosil qiladi. 
Ko‘pincha bu elektronlarning energiyasi E1 ( 1-5 keV oralig‘ida bo‘ladi. 
Analizator esa ikkilamchi elektronlarni energiya bo‘yicha taqsimlanishini tahlil 
qilishga xizmat qiladi. 
To‘xtatuvchi maydonli analizator sferik (yarim sferik) ko‘rinishdagi to‘rlar 
(2 tadan 4 tagacha) va kollektordan iborat bo‘ladi. To‘rtta to‘rga ega bo‘lgan 
analizatorli spektrometrning chizmasi 3.6-rasmda keltirilgan. Bu yerda T
1
to‘r 
mishendan uchib chiqayotgan ikkilamchi elektronlarning maydonsiz fazoda 
harakatlanishini ta’minlashga xizmat qiladi. Buning uchun nishon bilan to‘r T
1
taxminan bir bil potensialga ega bo‘lishi kerak (Ular orasidagi kontakt potensiallar 
farqi U
nt
manba yordamida kompensatsiya qilinadi). 
3.6-rasm. To‘xtatuvchi maydonli analizatorga ega bo‘lgan spektrometr: 
EEO – elektron energıyalı oqimi, E – ekran, Kol. – kollektor, T
1
(T
4
 – to‘rlar, N – 
mishen, DK va RK – dastlabki va rezonans kuchaytirgich, SD – sinxron 
detektor, CHI – chastotani ikkilantiruvchi, SKG – sinusoidal kuchlanishlar 
generatori, AKM – arrasimon kuchlanish manbai, AA – avtomatik yozuvchi 
asbob. 

---

67 
Shuning uchun ikkilamchi elektronlar T