O‘zbekiston respublikasi oliy va o‘rta maxsus ta’lim vazirligi m. T normuradov, B. E umirzaqov, A. Q tashatov

2. Silindrik ko‘zguli analizatorga ega bo‘lgan spektrometrlar. Bunday 
analizator bitta markaziy o‘qqa ega bo‘lgan ikkita (ichki va tashqi) silindrdan 
iborat bo‘ladi. Ichki silindr ichiga optik o‘qi analizatorlarning markaziy o‘qi bilan 
ustma-ust tushadigan qilib elektron to‘p joylashtiriladi. Analizator ikkita fokusga 

---

69 
ega bo‘lib, ulardan biriga mishen, ikkinchisiga esa ikkilamchi elektronlarni qabul 
qiluvchi asbob (elektron kuchaytirgich - EK) o‘rnatiladi (3.8 – rasm). 
3.8-rasm. Silindrik ko‘zguli analizator spektrometri: EK – elektron 
kuchaytirgich, EEO – elektronlar energiyali oqimi, T – to‘siq, 1 va 2 – ichki va 
tashqi silindrlar. 
Nishondan uchib chiqqan elektronlar radial yo‘nalishlar bo‘ylab 
harakatlanib, ichki silindrdagi halqasimon tirqish orqali o‘ta boshlaydi. Tashqi 
silindrga berilgan manfiy potensial ma’lum energiyali elektronlarni orqaga 
qaytarib, ikkinchi halqasimon ko’zgu orqali EK ga yo‘naltiradi. Tahlil qilinayotgan 
elektronlarning energiyasi tashqi silindr potensialiga proporsional bo‘ladi. 
Maydonning ekvipotensialligini saqlash uchun halqasimon tirqishlarga to‘rlar 
qoplanadi. Elektronlar ichki silindr orqali EK ga tushmasligi uchun elektron 
energiyali oqimi (EEO) orqa tomoniga to‘siq qo‘yiladi. 
Bu usulda yozib olingan signal to‘g‘ridan-to‘g‘ri ikkilamchi elektronlarning 
spektri N(E) ni beradi. Oje-signallarni yozish uchun tashqi silindrga qo‘shimcha 

---

70 
ozgina sinusoida kuchlanish 

U=Ksin

t beriladi. Bu spektrometrda signalning
shovqinga nisbati 103 va undan katta bo‘ladi. 
Ajrata olish qobiliyati esa 0,2

0,5% ni tashkil qiladi. Demak, silindrik 
ko‘zguli analizatorlarning sezgirlik va aniqlik darajasi to‘xtatuvchi maydonli 
analizatorlardan ancha yuqori bo‘ladi. 
Biz ko‘rib o‘tgan bu ikkala turdagi analizatorlarning o‘nlab modifikatsiyalari
ishlab chiqilgan. Bundan tashqari uchinchi tur analizatorlar ham mavjud. Bunday 
analizatorlar Yuza-Rojanskiy analizatori deb ataladi. Bu analizatorlar hozirgi 
kunda oje-elektron spektroskopiya keng tarqalmagan.