Ўзбекистон миллий университети қошидаги яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника илмий-тадқИҚот институти ҳузуридаги илмий

Апробация результатов исследования. Основные научные результаты 
диссертационной работы были доложены и обсуждены на 4 международных 
и 9 республиканских научно-практических конференциях, а также на 
постоянных научных семинарах в ТГТУ
Публикации результатов исследования. По теме диссертации всего 
издано 21 научная работа, 8 статей в научных изданиях, рекомендованных 
для публикации научных результатов докторских диссертаций при Высшей 
Аттестационной Комиссии Республики Узбекистан, в том числе 3 из них в 
республиканских и 5 - в зарубежных журналах. 

---

Структура и объём диссертации. Диссертация состоит из введения, 4 
глав, приложения, заключения и списка использованной литературы. Объем 
диссертации составляет 120 страниц. 
ОСНОВНОЕ СОДЕРЖАНИЕ ДИССЕРТАЦИИ 
Во введении обоснована актуальность и востребованность темы 
диссертации, 
определена 
связь 
исследования 
с 
приоритетными 
направлениями развития науки и технологий республики, раскрыта степень 
изученности проблемы, сформулированы цели и задачи, приведены объекты, 
предметы и методы исследования, изложена научная новизна и практическая 
значимость исследования, приведены краткие сведения о внедрении 
результатов, апробации и публикации работы, а также об объеме и структуре 
диссертации. 
В первой главе диссертации под названием «Кластеры примесных 
атомов в полупроводниках, состояние проблемы, изученность и 
перспективы» проанализировано современное состояние проблемы 
изучения кластеров примесных атомов. Рассмотрены кластеры примесных 
атомов в полупроводниках. В результате сделанного литературного обзора, 
проанализированы 
способы 
получения 
КПА 
в 
полупроводниках, 
рассмотрены результаты исследования влияния термических дефектов на 
свойства КПА в кремнии, а также взаимодействие КПА с термическими 
дефектами 
в 
полупроводниках. 
Приведены 
теоретические 
и 
экспериментальные результаты по межпримесному взаимодействию АЭПГ в 
кремнии. 
На 
основании 
анализа 
имеющихся 
теоретических 
и 
экспериментальных данных сформулированы задачи диссертационной 
работы. 
Во второй главе диссертации под названием «Кластеры примесных