Portal guldu uz-ярим ўтказгичли Қ

4.4.
қУЁШ ЭЛЕМЕНТЛАРИГА КОНТАКТ ОЛИШ
ЖАРАЁНИНИНГ ЎТКАЗИЛИШ ТАРТИБИ
Контакт олиш жараёнининг асосий амалларининг кетма-кетлигини
қуйидагилардан иборат.
-
Si р-n тузилмасини контакт олишга тайёрлаш (кимёвий ёки кимёвий-
механик усул билан контакт олинадиган юзани тозалаш),

---

72
-
структурага фоторезист ўтқазиш,
-
фотошаблон ёрдамида контакт расмини тушириш,
-
фоторезистни мустаҳкамлаш,
-
вакуум қурилмасидан фойдаланиб кетма-кетлик билан контакт
материалларини учириш,
-
контакт адгезиясини яхшилаш учун контактга иссиқлик билан ишлов
бериш,
-
фоторезистни юзадан олиб ташлаш,
-
контакт кесим юзасини ошириш учун қалайлаш,
-
фронтал юзадан нур қайтаришини камайтириш учун уни оксид билан
қоплаш,
-
қЭ тузилмасидан шунт берадиган қисмларни кесиб олиб ташлаш,
-
қЭ нинг параметрларини ўлчаш.
қЭ фронтал қисмидаги юпқа диффузион жараён орқали ҳосил
қилинган фосфор киришмали қатлам одатда катта юза қаршилигига эга
бўлади ва унинг қиймати одатда 50-100 Ом/ . Бундай қаршиликни
камайтириш ва тузилма самарадорлигини сақлаш учун ташқи (фронтал)
юзага тўрсимон (сетка) контакт олинади. Бу контакт биринчидан юзани
кўп тўсмаслиги, иккинчидан омик бўлиши, учинчидан юпқа диффузион
қатламни тешмаслиги керак. Расм 20, 21.
Расм 20.
Кремний қуёш элементининг фронтал контакт кўринишига оид мисол. 1-
юзадаги тўрсимон контакт (кўп қатламли қ припой), 2 – шаффофлантирувчи қатлам,

---

73
3 – легирланган п-типдаги юпқа қатлам (0,2 мкм), 4 – 0,5 мкм қалинликдаги хажмий
заряд қатлами, 5 – 200 мкм қалинликдаги база қатлами, 6 – 0,5 мкм қалинликдаги р
қ
-
қатлам, 7 – орқа томондаги контакт қатлами, 8 – ток жамловчи шина, 9 – тўрсимон
ток жамловчи шина.
Расм 21.
Типик кремний асосидаги қуёш элементига оид энергетик соҳали
диаграмма; п-қатлам ўлчами катталаштирилган. 1 – орқа томонга яқин қисмдаги
электр майдони.
Изланишлар натижаси шуни кўрсатадики, одатда юзада микроскопик
катталикдаги тешилган участкалар ҳосил бўлиши мумкин (юпқа
диффузион қатламлар олинганда) ва бундай ҳолларда R
ш
қаршилиги
камайиши ва I
о
нинг қиймати ортиши мумкин. Бунинг олдини олиш
мақсадида контакт олинадиган юзага металл маскалар ёки полимер
материалдан қилинган ва контакт расми туширилган фоторезист маскалар
ёрдамида ёки аксланишни камайтирувчи қатламлар устига контакт
олинади. Контактнинг геометрик шакли (топологияси) контакт олинадиган
юза катталигига, диффузион қатламнинг қалинлигига ва қЭ ларининг
қайси шароитда ишлашига қараб танлаб олинади. Одатда юзага тушаётган
нурни йулини тўсмаслик учун юзани тўсиш коэффициентининг катталиги
10 % дан оширмасликка ҳаракат қилиниши керак. Концентрлаштирилган
(зичлаштирилган) қуёш нурлари билан ишлайдиган қЭ ларда эса юзани
тўсиш коэффициенти қуёш нурини зичлаштириш коэффициентига боғлик
бўлиб, айрим ҳолларда у 50 % ошиқроқ бўлиши ҳам мумкин.