Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi

Molekulyar manbalar tuguni – murakkabligi bo’yicha o’suvchi 
modullarning ikkinchi tuguni. Molekulyar manbaga qattiq shixta bilan 
to’ldirilgan tigel (qoidaga ko’ra u ham bor nitrididan tayyorlanadi), qizdirgich – 
tigelning sirtini egallovchi silindrik spiral va tashqi detallarni qizib ketishdan 
himoya qiluvchi termoekranlar sistemasidan iborat. Shixtali qizdirish 
temperaturasi termojuftlik bilan nazorat qilinadi. Bundan tashqari, har bir 
molekulyar manba boshqaruvchi signal bo’yicha ochilib, molekulyar dastani 
to’suvchi to’siq bilan ta`minlangan. Manba konstruksiyasi materiallari – 
molibden va titan. 

---

45 
So’rish sistemasi o’sish kamerasida ishchi vakuumga erishishni 
ta`minlaydi. Katta hajmda o’ta yuqori vakuum hosil qilish uchun so’rishning 3 
bosqichidan foydalanishga to’g`ri keladi. Birinchi bosqichda atmosfera bosimini 
so’rib olishda mexanik forvakuum nasosdan foydalanishga to’g`ri keladi. 
Atmosfera havosining asosiy massasi yo’q qilingach, forvakuum so’rish 
to’xtatiladi va seolit yoki faollashgan ko’mir bilan to’ldirilgan kriogen 
absorbsion 
nasoslar 
yoqiladi. 
So’rishning 
oxirgi 
bosqichida 
titanli 
magnitorazryad nasos ulanib, u o’ta yuqori vakuumni hosil qiluvchi va ushlab 
turuvchi asosiy nasos hisoblanadi. O’sish jarayonining ayrim bosqichlarida 
yuzaga keluvchi ortiqcha gaz ajralishini kompensatsiya qilish uchun bir muncha 
vaqt so’rish tezligini keskin oshirib beruvchi titanli getter nasosni qo’llash 
mumkin. 
Kriopanellar – suyuq azot bilan to’ldirilgan sig`imdan iborat, o’suvchi 
modulning eng ko’p qizdirilgan elementlarini manipulyator va molekulyar 
manbalarni o’rab olgandir. Bundan tashqari ayrim kriopanel getter nasosni 
sovutadi, bu bilan uning adsorbsion xususiyatlarini oshiradi. Transport sistemasi 
– vakuum qurilmalarda yukli kameradan tashuvchili taglikni o’suvchi modulga 
masofadan siljitishni amalga oshirish va tashuvchini manipulyatorga 
mahkamlsh, hamda o’stiruvchi moduldan o’stirilgan strukturalarni yo’qotish 
uchun kerak.