44
- Nazorat – analitik aparatura.
Vakuum kamera – ikkita asosiy vazifani bajaradi: u o’suvchi bo’shliqni
atmosfera havosidan germetik izolyatsiyalaydi va shu bilan bir vaqtda o’suvchi
modulning barcha qolgan elementlarini mahkamlash
uchun olib yuruvchi
kamera hisoblanadi. Vakuum kamera zanglamaydigan po’latdan tayyorlanadi va
silindrik yoki sharsimon shaklga ega. Zamonaviy texnologik komplekslarda
vakuum kamera yetarlicha katta o’lchamga ega: uning hajmi 0.5 m
3
gacha
yetishi mumkin.
Taglikni mahkamlash tuguni (manipulyator) – o’suvchi
modulning
murakkab tugunlaridan iboratdir. Taglikni mahkamlash va pretszion siljitishdan
tashqari bu tugun taglikni ishchi temperaturagacha qizdirish ishini amalga
oshiradi. Taglik juda nozik kristallar plastinkasidan iboratligidan u molibdendan
yasalgan metal disk tashuvchiga oldindan mahkamlab qo’yiladi,
u bilan birga
ko’chiriladi
va
manipulyatorga
mahkamlanadi.
Taglikni
tashuvchiga
mahkamlash yoki indiy bilan kavsharlash yo’li bilan yoki maxsus simli tutish
bilan amalga oshiriladi. Taglikni qizdirish uchun
manipulyatorga elektr pech
ulangan b`lib, u yupqa metal spiraldan iborat (meandr) bo’lib, bor nitrididdan
yasalgan keramik plastinkaga mahkamlangan. Bu
material yuqori issiqlikka
chidamliligi va yaxshi vakuum xususiyati bilan farq qilib,
kuchli qizdirishda
ham bu xususiyatlarni saqlaydi. Qizdirish temperaturasi termojuftlik bilan
nazorat qilinadi.
Do'stlaringiz bilan baham: