1
O’ZBEKISTON RESPUBLIKASI
OLIY VA O’RTA MAXSUS TA’LIM
VAZIRLIGI
МIRZO ULUG’BEK NOMIDAGI
O’ZBEKISTON
МILLIY UNIVERSITETI
“YARIMO’TKAZGICHLAR VA POLIMERLAR FIZIKASI”
КАFEDRASI
5140200 – Fizika ta’lim yo’nalishi
Soliyeva Muhlisa Ikrom qizi
“YARIMO’TKAZGICH ASBOBLAR TEXNOLOGIYASIDA
EPITAKSIYADAN FOYDALANISH ASOSLARINI
O’RGANISH”
mavzusidagi
BITIRUV MALAKAVIY ISHI
Bitiruvchi: Soliyeva M.I
Ilmiy rahbar: dots. Nazirov D.E
ТOSHKENT – 2017 yil
2
Mundarija
Kirish ……………………………………………………………..
3
1-BOB. EPITAKSIYA TUSHUNCHASI VA UNING TURLARI.
EPITAKSIYADAN FOYDALANISH ASOSLARI
9
1.1
Epitaksiya. Epitaksiya turlari: geteroepitaksiya, reoepitaksiya,
molekulyar – nur epitaksiya …………..……………………………..
9
1.2
Epitaksial geterostruktalarning xossalari va qo‘llanilishi ……………
13
1.3
Epitaksial o‘sishning prinsip va metodlari …………..………………
15
2-BOB. YARIMO’TKAZGICH ASBOBLAR
TEXNOLOGIYASIDA EPITAKSIYADAN FOYDALANISH
ASOSLARINI O’RGANISH
16
2.1
Epitaksial o‘tqazishning asosiy usullari, kremniy va
germaniy
epitaksiyasi ……………………………………………………………
16
2.2
Epitaksial qatlamlarni olish qurilmalari …………………………..…
22
2.3
Epitaksial tuzilmalarni legirlash,
A
III
B
V
turdagi yarimo‘tkazgich
birikmalar epitaksiyasining texnologik xususiyatlari ………………..
27
3-BOB. ZAMONAVIY EPITAKSIAL
